Зеленоградский нанотехнологический центр разработает первый в России промышленный CD-SEM микроскоп для производства чипов. Контракт Минпромторга – 2,37 млрд рублей. Установка заменит японские Hitachi.
Россия создаст первый промышленный электронный микроскоп для производства чипов
Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) займётся разработкой первого в России промышленного сканирующего электронного микроскопа класса CD-SEM, предназначенного для контроля производства микросхем. Минпромторг заключил с центром контракт стоимостью 2,37 млрд рублей. Работы ведутся в рамках опытно-конструкторской разработки «Инспектор» и должны завершиться к 30 июня 2030 года.
Что такое CD-SEM и зачем он нужен
CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope) — это высокоточный инструмент для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин. Он измеряет критические параметры микросхем: ширину проводников, размеры контактных отверстий, расстояние между элементами схемы и шероховатость краёв линий. От этих характеристик зависят качество, стабильность и выход годной продукции при производстве чипов.
Технические характеристики
Будущий микроскоп будет работать с пластинами диаметром 100, 150 и 200 мм. Первый опытный образец рассчитан на 200-миллиметровые пластины — именно такой формат широко используется на предприятиях, выпускающих микросхемы по зрелым технологическим нормам. Согласно техническому заданию, практически все ключевые узлы — электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумная система, механизм загрузки, контроллер и ПО — должны быть российскими. Средняя наработка на отказ — не менее 1000 часов, расчётный срок службы — 10 лет.
Замена импорта
Проект призван заменить японские электронные микроскопы Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию прекратились после введения санкций. Отечественных промышленных аналогов такого оборудования сегодня не существует. Разработка ЗНТЦ станет важным шагом в импортозамещении для микроэлектронной промышленности.
Опыт ЗНТЦ
У ЗНТЦ уже есть опыт создания подобного оборудования: ранее центр представил отечественный литограф с разрешением 350 нм, а также установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм. Сейчас два опытных образца этой системы проходят испытания. Новый микроскоп станет следующим этапом в создании полного цикла отечественного оборудования для производства чипов.
- Первый промышленный CD-SEM в России;
- Замена японским Hitachi;
- Пластины до 200 мм;
- Контракт 2,37 млрд рублей;
- Срок службы 10 лет, наработка 1000 часов.
Разработка отечественного CD-SEM — важный шаг для российской микроэлектроники. Она снизит зависимость от импорта и позволит контролировать качество производства на всех этапах. Успех проекта укрепит технологический суверенитет страны в области полупроводников.
Об авторе
