Китайская литография вышла в серию: новые машины уже получили…

Китайская литография вышла в серию: AST6200 получила заказы на коммерческие поставки

Китайская компания Shanghai Xinshang Microassembly вывела на рынок собственную литографическую установку AST6200. Аппарат прошёл полный цикл технологической проверки у крупного китайского производителя полупроводников и уже получил заказы на серийные поставки. Это важный шаг для страны, которая стремится снизить зависимость от западного оборудования в критически важной отрасли.

Важно отметить, что AST6200 предназначена не для производства процессоров, а для выпуска компонентов на основе карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия и других соединительных полупроводников. Такие материалы востребованы в электромобилях (силовая электроника), сетях 5G (усилители) и оптоэлектронике — рынки, которые в ближайшие годы будут расти двузначными темпами. Установка поддерживает пластины диаметром от 2 до 8 дюймов и различные типы подложек.

Технически система оснащена собственной проекционной оптикой, высокоточной системой совмещения слоёв, регулируемой подсветкой и автоматической фокусировкой. Дополнительные модули позволяют работать со сложными подложками и выполнять фронтальное и обратное совмещение. Производитель также полностью самостоятельно разработал программную систему управления — от драйверов оборудования до управления технологическими процессами.

Выход AST6200 в серийное производство показывает, что китайская полупроводниковая отрасль осваивает не только передовую литографию для процессоров, но и нишевые сегменты, где спрос растёт быстрее всего. Это стратегический шаг: вместо того чтобы пытаться догнать ASML на сложнейшем рынке EUV-литографии, Китай наращивает компетенции в растущих сегментах, где требования к точности ниже, но объёмы рынка колоссальны.

Для отрасли это ещё один признак того, что Китай закрывает технологические пробелы по всей цепочке производства чипов — от материалов до оборудования. Подтверждённые заказы от крупных производителей говорят о том, что продукт уже признан на рынке, а не просто существует в виде прототипа. Вопрос лишь в том, насколько быстро китайская литография сможет масштабироваться и сможет ли она конкурировать с японскими и европейскими производителями по цене и качеству. Пока что это первый шаг, но он сделан в правильном направлении.

Читайте также: