Россия создаст первый промышленный электронный микроскоп для…

Россия создаст первый промышленный электронный микроскоп для производства чипов

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) займётся разработкой первого в России промышленного сканирующего электронного микроскопа класса CD-SEM, предназначенного для контроля производства микросхем. Минпромторг заключил с центром контракт стоимостью 2,37 млрд рублей. Работы ведутся в рамках опытно-конструкторской разработки «Инспектор» и должны завершиться к 30 июня 2030 года. Это амбициозный проект, который должен закрыть критическую технологическую нишу.

CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope) — это высокоточный инструмент для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин. Он измеряет критические параметры микросхем: ширину проводников, размеры контактных отверстий, расстояние между элементами схемы и шероховатость краёв линий. От этих характеристик зависят качество, стабильность и выход годной продукции при производстве чипов. Без такого оборудования невозможно контролировать производство современных микросхем.

Будущий микроскоп будет работать с пластинами диаметром 100, 150 и 200 мм. Первый опытный образец рассчитан на 200-миллиметровые пластины — именно такой формат широко используется на предприятиях, выпускающих микросхемы по зрелым технологическим нормам. Согласно техническому заданию, практически все ключевые узлы — электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумная система, механизм загрузки, контроллер и ПО — должны быть российскими. Средняя наработка на отказ — не менее 1000 часов, расчётный срок службы — 10 лет.

Проект призван заменить японские электронные микроскопы Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию прекратились после введения санкций. Отечественных промышленных аналогов такого оборудования сегодня не существует. Разработка ЗНТЦ станет важным шагом в импортозамещении для микроэлектронной промышленности.

Это не просто разработка одного прибора, а создание целого технологического направления. Электронная оптика, вакуумная техника и прецизионные системы позиционирования — всё это придётся создавать с нуля. Успех проекта может стать базой для других типов аналитического оборудования. Однако срок до 2030 года и бюджет в 2,37 млрд рублей — это серьёзный вызов, и достижимость целей будет зависеть от того, смогут ли российские инженеры воспроизвести технологии, которые Япония нарабатывала десятилетиями. Но сам факт начала работы над таким проектом говорит о том, что стратегия импортозамещения в микроэлектронике набирает обороты.

Читайте также: